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中国光刻机专利的崛起  近年来,中国光刻机技术取得了长足的进步,并且在全球光刻机领域的专利数量上也实现了突飞猛进的开展。这一趋势代表着中国光刻机专利的崛起,预示着未来中国在光刻机技术方面将有更大的开展
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